Was ist Ätzkompensation?
Unter Ätzkompensation versteht man den Prozess der Anpassung der Breite einer Leiterbahn auf einer Leiterplatte, um die Auswirkungen des Ätzens zu berücksichtigen. Während des Ätzvorgangs kann das Kupfer, das der Ätzresistschicht am nächsten liegt, stärker geätzt werden, was zu einer schmaleren Leiterbahn im Vergleich zu dem Kupfer führt, das näher an der Substratschicht liegt. Um sicherzustellen, dass die endgültige Leiterbahnbreite den gewünschten Spezifikationen entspricht, verwenden die Hersteller Techniken zur Ätzkompensation.
Der Umfang des erforderlichen Ausgleichs hängt von Faktoren wie dem Kupfergewicht und den Qualitätskontrollen ab. Normalerweise werden vor der Fertigung kleine Anpassungen an den normalisierten Gerberdaten vorgenommen. Diese Anpassungen erweitern die Kupfermerkmale in den verfügbaren Raum um einen bestimmten Betrag, der normalerweise zwischen 1 und 8 mils liegt. Auf diese Weise wird die Breite der Leiterbahn nach dem Ätzen vergrößert, um das vorgegebene Minimum zu erreichen.
Der Kompensationsprozess kann jedoch bei eng gepackten Kupferstrukturen eine Herausforderung darstellen. Es ist ein ausreichender Abstand zwischen den Merkmalen erforderlich, damit das Ätzmittel ungehindert in den Bereich fließen kann und die Kupferatome sich nach außen bewegen können. In einigen Fällen müssen die Hersteller das Kupfer von anderen Netzen abschneiden oder zurückschneiden, um eine angemessene Ätzkompensation bei kritischen Merkmalen zu gewährleisten.
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